EDGE RING TRANSFER WITH AUTOMATED ROTATIONAL PRE-ALIGNMENT

A system includes a robot configured to transfer either one of a substrate and an edge ring within a substrate processing system, a substrate aligner configured to adjust a rotational position of either one of the substrate or the edge ring relative to an end effector of the robot, and a carrier plate configured to support the edge ring. The robot is configured to retrieve the carrier plate with the end effector, retrieve the edge ring using the carrier plate supported on the end effector, and transfer the carrier plate and the edge ring to the substrate aligner. Système comprenant un robot configuré pour transférer l'un ou l'autre d'un substrat et d'un anneau de bord à l'intérieur d'un système de traitement de substrat, un dispositif d'alignement de substrat configuré pour ajuster une position de rotation de l'un ou l'autre du substrat ou de l'anneau de bord par rapport à un effecteur du robot, et une plaque de support configurée pour supporter l'anneau de bord. Le robot est configuré pour récupérer la plaque de support avec l'effecteur, récupérer l'anneau de bord à l'aide de la plaque de support supportée sur l'effecteur, et transférer la plaque de support et l'anneau de bord au dispositif d'alignement de substrat.