MEMS DEVICE FOR INTERFEROMETRIC SPECTROSCOPY

The present application relates to a system for performing time-resolved interferometric spectroscopy of incoming light. In some embodiments, the system includes one or more optical elements, a photo-detector, a capacitance detector, and one or more processors. Upon application of a varying input signal to the one or more optical elements, a change to an optical characteristic is caused resulting in a changing interference pattern produced by the incoming light incident on the one or more optical elements. During the application of the varying input signal, the photo-detector may detect an intensity of light output from the one or more optical elements and the capacitance detector may detect a capacitance of the one or more optical elements. La présente invention concerne un système permettant d'effectuer une spectroscopie interférométrique à résolution temporelle de la lumière entrante. Dans certains modes de réalisation, le système comprend un ou plusieurs éléments optiques, un photodétecteur, un détecteur de capacité et un ou plusieurs processeurs. Lors de l'application d'un signal d'entrée variable au ou aux éléments optiques, un changement est apporté à une caractéristique optique, ce qui entraîne un changement de motif d'interférence produit par la lumière entrante incidente sur le ou les éléments optiques. Pendant l'application du signal d'entrée variable, le photodétecteur peut détecter une intensité de lumière émise par le ou les éléments optiques et le détecteur de capacité peut détecter une capacité du ou des éléments optiques.