SCANNING MIRROR SYSTEMS AND METHODS OF MANUFACTURE

Described are scanning micromirror devices, methods of making scanning micromirror devices, two-dimensional optical scanning systems that incorporate scanning micromirror devices, and methods of projecting light and images using two-dimensional optical scanning systems. The disclosed two-dimensional optical scanning systems can incorporate a first scanning micromirror device oscillating at a relatively higher frequency, which directs reflected light onto a second scanning micromirror device oscillating at a relatively lower frequency, which directs reflected light for projection. L'invention concerne des dispositifs de micromiroirs à balayage, des procédés de fabrication de dispositifs de micromiroirs à balayage, des systèmes de balayage optique en deux dimensions qui incorporent des dispositifs de micromiroirs à balayage, et des procédés de projection de lumière et d'images à l'aide de systèmes de balayage optique en deux dimensions. Les systèmes de balayage optique bidimensionnels décrits peuvent incorporer un premier dispositif de micromiroirs à balayage oscillant à une fréquence relativement plus élevée, qui dirige la lumière réfléchie sur un second dispositif de micromiroir à balayage oscillant à une fréquence relativement inférieure, qui dirige la lumière réfléchie pour la projection.