AMMONIA ABATEMENT FOR IMPROVED ROUGHING PUMP PERFORMANCE

In a process chamber connected with a process roughing pump via a pump foreline, pumping from the process chamber to the foreline ammonia and a deposition precursor, introducing into the foreline hydrogen fluoride gas to react with the ammonia to form ammonium fluoride, and maintaining the process roughing pump and pump foreline at at least the ammonium fluoride sublimation temperature during the pumping provides ammonia abatement for improved roughing pump performance. Dans une chambre de traitement reliée à une pompe de prévidage de traitement par l'intermédiaire d'une conduite de refoulement primaire de pompe, le fait de pomper, de la chambre de traitement vers la conduite de refoulement primaire, de l'ammoniac et un précurseur de dépôt, d'introduire, dans la conduite de refoulement primaire, du fluorure d'hydrogène gazeux destiné à réagir avec l'ammoniac pour former du fluorure d'ammonium, et de maintenir la pompe de prévidage de traitement et de la conduite de refoulement primaire de pompe à une température supérieure ou égale à la température de sublimation de fluorure d'ammonium pendant le pompage permet une réduction de l'ammoniac, ce qui entraîne une amélioration des performances de la pompe de prévidage.