PRESSURE BATCH COMPENSATION TO STABILIZE CD VARIATION FOR TRIM AND DEPOSITION PROCESSES

A controller includes an accumulation determiner configured to determine a first accumulation value that indicates an amount of accumulation of material on surfaces within a processing chamber and a pressure controller configured to obtain the first accumulation value, obtain at least one of a setpoint pressure an etching step and a duration of the etching step, and, to control the pressure within the processing chamber during the etching step, adjust a control parameter based on (i) the first accumulation value and (ii) the at least one of the setpoint pressure and the duration of the etching step. La présente invention concerne un dispositif de commande qui comprend un dispositif de détermination d'accumulation configuré pour déterminer une première valeur d'accumulation qui indique une quantité d'accumulation de matériau sur des surfaces à l'intérieur d'une chambre de traitement et un dispositif de régulation de pression configuré pour obtenir la première valeur d'accumulation, obtenir au moins l'une parmi une pression de consigne d'une étape de gravure et une durée de l'étape de gravure, et, pour réguler la pression à l'intérieur de la chambre de traitement pendant l'étape de gravure, ajuster un paramètre de commande sur la base de (i) la première valeur d'accumulation et (ii) l'au moins une parmi la pression de consigne et/ou la durée de l'étape de gravure.