A CONTROL UNIT FOR FOCUSING A SAMPLE AND A METHOD THEREOF

The control unit (10) adapted to identify multiple zones (14) to focus in the sample (12) and to control a movement of an objective lens (16) over at least one zone (14)(a) of the sample (12) in a predefined distance range from the sample (12). The control unit (10) further adapted to detect a focus...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: VENKATARAMAN, Krishnan, RAHUL SAI, Parthasarathy, VINOD KUMAR, Deivasegamani, RAGHU, Vikrant
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:The control unit (10) adapted to identify multiple zones (14) to focus in the sample (12) and to control a movement of an objective lens (16) over at least one zone (14)(a) of the sample (12) in a predefined distance range from the sample (12). The control unit (10) further adapted to detect a focused point within the predefined distance range corresponding to the at least one focused zone (14) (a) of the sample (12). The control unit (10) determines a new distance range to focus the objective lens (16) over at least one next zone (14) (b) of the sample (12), from the detected focused point The control unit (10) detects a new focused point within the new distance range corresponding to the at least one next zone (14) (b) of the sample (12). The focus on the sample (12) in the perpendicular (z-axis) direction is more precise and obtained with ease. L'invention concerne une unité de commande 10 qui est apte à identifier de multiples zones 14 à focaliser dans l'échantillon 12 et à commander un mouvement d'une lentille d'objectif 16 sur au moins une zone 14(a) de l'échantillon 12 dans une plage de distance prédéfinie à partir de l'échantillon 12. L'unité de commande 10 est en outre apte à détecter un point focalisé dans la plage de distances prédéfinie correspondant à la ou aux zones focalisées 14(a) de l'échantillon 12. L'unité de commande 10 détermine une nouvelle plage de distance pour focaliser la lentille d'objectif 16 sur au moins une zone suivante 14(b) de l'échantillon 12, à partir du point focalisé détecté. L'unité de commande 10 détecte un nouveau point focalisé dans la nouvelle plage de distance correspondant à l'au moins une zone suivante 14(b) de l'échantillon 12. Le foyer sur l'échantillon 12 dans la direction perpendiculaire (axe z) est plus précis et obtenu avec facilité.