SUBSTRATE SUPPORT, LITHOGRAPHIC APPARATUS, METHOD FOR MANIPULATING CHARGE DISTRIBUTION AND METHOD FOR PREPARING A SUBSTRATE

A substrate support is configured to support a substrate. The substrate support comprises a plurality of burls protruding from a base surface of the substrate support. The burls have distal ends in a plane for supporting a lower surface of the substrate with a gap between the base surface of the substrate support and the lower surface of the substrate. The substrate support comprises a liquid supply channel for supplying a conductive liquid to the gap so as to bridge the gap between the base surface of the substrate support and the lower surface of the substrate, thereby allowing charge to pass between the substrate support and the substrate. The substrate support has a controlled electrical potential such that charge distribution at the lower surface of the substrate can be manipulated. L'invention concerne un support de substrat qui est conçu pour supporter un substrat. Le support de substrat comprend une pluralité de nervures faisant saillie à partir d'une surface de base du support de substrat. Les nervures ont des extrémités distales dans un plan pour supporter une surface inférieure du substrat avec un espace entre la surface de base du support de substrat et la surface inférieure du substrat. Le support de substrat comprend un canal d'alimentation en liquide pour fournir un liquide conducteur à l'espace de façon à combler l'espace entre la surface de base du support de substrat et la surface inférieure du substrat, ce qui permet à la charge de passer entre le support de substrat et le substrat. Le support de substrat a un potentiel électrique contrôlé de telle sorte qu'une distribution de charge au niveau de la surface inférieure du substrat peut être manipulée.