PROBE SYSTEMS INCLUDING IMAGING DEVICES WITH OBJECTIVE LENS ISOLATORS, AND RELATED METHODS

Probe systems including imaging devices with objective lens isolators and related methods are disclosed herein. A probe system includes an enclosure with an enclosure volume for enclosing a substrate that includes one or more devices under test (DUTs), a testing assembly, and an imaging device. The imaging device includes an imaging device objective lens, an imaging device body, and an objective lens isolator. In examples, the probe system includes an electrical grounding assembly configured to restrict electromagnetic noise from entering the enclosure volume. In examples, methods of preparing the imaging device include assembling the imaging device such that the imaging device objective lens is at least partially electrically isolated from the imaging device body. In some examples, utilizing the probe system includes testing the one or more DUTs while restricting electrical noise from propagating from the imaging device to the substrate. L'invention concerne des systèmes de sonde comprenant des dispositifs d'imagerie ayant des isolateurs de lentille d'objectif et des procédés associés. Un système de sonde comprend une enveloppe ayant un volume d'enveloppe pour envelopper un substrat qui comprend un ou plusieurs dispositifs à l'essai (DUT), un ensemble d'essai et un dispositif d'imagerie. Le dispositif d'imagerie comprend une lentille d'objectif de dispositif d'imagerie, un corps de dispositif d'imagerie et un isolateur de lentille d'objectif. Dans des exemples, le système de sonde comprend un ensemble électrique de mise à la masse configuré pour empêcher un bruit électromagnétique d'entrer dans le volume d'enveloppe. Dans des exemples, des procédés de préparation du dispositif d'imagerie consistent à assembler le dispositif d'imagerie de telle sorte que la lentille d'objectif de dispositif d'imagerie soit au moins partiellement électriquement isolée du corps de dispositif d'imagerie. Dans certains exemples, l'utilisation du système de sonde comprend l'essai des un ou plusieurs DUT tout en empêchant un bruit électrique de se propager du dispositif d'imagerie au substrat.