SEAL INSPECTION DEVICE AND SEAL INSPECTION METHOD

The present invention enables a seal inspection with a simple configuration, where the inspection can be performed with higher precision and in a shorter time than in the prior art. A seal inspection device comprises: a first jig 11 that has a port 101 which is surrounded by an inspection target 20 and a through hole which is connected to an external leak detection flow path 104; a second jig 12 that holds the inspection target 20 between the first jig 11 and the second jig 12; an inspection location sealing part 30 that, together with the first jig 11 and the second jig 12, makes into a closed space a space in which the inspection target 20 is disposed; a pressurizing valve 111 that connects the port 101 and both a supply source and an exhaust system for an inspection gas; a detector for the inspection gas; a first measurement valve 121 that connects the detector and the port 101; and a second measurement valve 124 that connects the external leak detection flow path 104 and the detector. La présente invention permet une inspection de joint d'étanchéité avec une configuration simple, où l'inspection peut être effectuée avec une précision plus élevée et dans un temps plus court que dans l'état de la technique. Un dispositif d'inspection de joint d'étanchéité comprend : un premier gabarit (11) qui comporte un orifice (101) qui est entouré par une cible d'inspection (20) et un trou traversant qui est relié à un trajet d'écoulement de détection de fuite externe (104) ; un deuxième gabarit (12) qui maintient la cible d'inspection (20) entre le premier gabarit (11) et le deuxième gabarit (12) ; une partie d'étanchéité d'emplacement d'inspection (30) qui, conjointement avec le premier gabarit (11) et le deuxième gabarit (12), fait d'un espace dans lequel est disposée la cible d'inspection (20) un espace fermé ; une vanne de mise en pression (111) qui relie l'orifice (101) et à la fois une source d'alimentation et un système d'échappement pour un gaz d'inspection ; un détecteur pour le gaz d'inspection ; une première vanne de mesure (121) qui relie le détecteur et l'orifice (101) ; et une deuxième vanne de mesure (124) qui relie le trajet d'écoulement de détection de fuite externe (104) et le détecteur. 従来よりも高精度且つ短時間で検査可能であり、簡略な構成でシール検査を実現する。シール検査装置は、検査対象２０により囲まれるポート１０１と、外部漏れ検出流路１０４に接続される貫通孔と、を有する第１の治具１１と、第１の治具１１との間に検査対象２０を挟持する第２の治具１２と、第１の治具１１及び第２の治具１２とともに、検査対象２０が配置された空間を閉空間とする検査箇所密封部３０と、検査ガスの供給源及び排気系の双方とポート１０１とを接続する加圧バルブ１１１と、検査ガスのデテクタと、デテクタとポート１０１とを接続する第１の測定バルブ１２