A FLUID EJECTION HEAD FABRICATION METHOD AND A FLUID EJECTION HEAD

A fluid ejection head may include a thin-film structure forming a fluid actuator and an electrical circuit for powering and controlling the fluid actuator. The thin-film structure may include a noble metal layer forming an electrical trace electrically connected to the fluid actuator and a tantalum layer over the electrical trace. The fluid ejection head may further include a chamber layer bonded to the tantalum layer over the electrical trace such that the tantalum layer is sandwiched between the electrical trace and the chamber layer. The chamber layer forms a fluid ejection chamber opposite the fluid actuator. L'invention concerne une tête d'éjection de fluide pouvant comprendre une structure de film mince formant un actionneur de fluide et un circuit électrique pour alimenter et commander l'actionneur de fluide. La structure de film mince peut comprendre une couche de métal noble formant une trace électrique connectée électriquement à l'actionneur de fluide et une couche de tantale sur la trace électrique. La tête d'éjection de fluide peut en outre comprendre une couche de chambre liée à la couche de tantale sur la trace électrique de telle sorte que la couche de tantale est prise en sandwich entre la trace électrique et la couche de chambre. La couche de chambre forme une chambre d'éjection de fluide en face de l'actionneur de fluide.