SMALL BATCH POLISHING FLUID DELIVERY FOR CMP

In one embodiment, a fluid delivery apparatus includes a vessel body having a first chamber and a second chamber disposed therein, a plurality of first delivery lines fluidly coupled to the first chamber, a dispense nozzle fluidly coupled to the second chamber, a second delivery line fluidly coupled to the second chamber, and a valve disposed between the first and second chambers. Here, fluid communication between the first chamber and the second chamber is controlled by the valve disposed therebetween. Polishing fluid components are flowed into the first chamber through the plurality of first delivery lines fluidly coupled thereto to form a batch of polishing fluid. Once formed, the batch of polishing fluid is transferred to the second chamber by opening the valve. Typically, the valve is then closed and the transferred batch can be delivered to a polishing pad through the dispense nozzle fluidly coupled to the second chamber, often by pressurizing the second chamber using pressurized gas delivered thereinto through the second delivery line. Un mode de réalisation de l'invention concerne un appareil de délivrance de fluide, lequel appareil comprend un corps de récipient ayant une première chambre et une seconde chambre disposées à l'intérieur de celui-ci, une pluralité de premières lignes de délivrance couplées de manière fluidique à la première chambre, une buse de distribution couplée de manière fluidique à la seconde chambre, une seconde ligne de délivrance couplée de manière fluidique à la seconde chambre, et une vanne disposée entre les première et seconde chambres. Ici, une communication fluidique entre la première chambre et la seconde chambre est commandée par la vanne disposée entre celles-ci. Des composants de fluide de polissage s'écoulent dans la première chambre à travers la pluralité de premières lignes de délivrance couplées de manière fluidique à celle-ci pour former un lot de fluide de polissage. Une fois formé, le lot de fluide de polissage est transféré dans la seconde chambre par une ouverture de la vanne. Typiquement, la vanne est ensuite fermée et le lot transféré peut être délivré à un tampon de polissage par l'intermédiaire de la buse de distribution couplée de manière fluidique à la seconde chambre, souvent par une pressurisation de la seconde chambre à l'aide de gaz sous pression délivré à l'intérieur de celle-ci par l'intermédiaire de la seconde ligne de délivrance.