METHOD AND MEASUREMENT HEAD FOR MEASURING A BODY IN A PLASMA-ASSISTED MANNER

Zum Messen eines Körpers (2) wird ein Arbeitsgas (8) an eine Oberfläche (5) des Körpers (2) herangeleitet und wird ein elektrisches Felds wechselnder Feldstärke, dessen Feldlinien (21) auf die Oberfläche (5) zu laufen und das eine dielektrisch behinderte Gasentladung in dem Arbeitsgas (8) hervorruft...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	VIÖL, Wolfgang, KÖHLER, Robert, TEN BOSCH, Lars, SAUERBIER, Philipp, SIEBERT, Dominik
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	COLORIMETRY ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT,POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED,VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT MEASURING PHYSICS PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS RADIATION PYROMETRY TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Zum Messen eines Körpers (2) wird ein Arbeitsgas (8) an eine Oberfläche (5) des Körpers (2) herangeleitet und wird ein elektrisches Felds wechselnder Feldstärke, dessen Feldlinien (21) auf die Oberfläche (5) zu laufen und das eine dielektrisch behinderte Gasentladung in dem Arbeitsgas (8) hervorruft, erzeugt, um ein Plasma (23) an der Oberfläche (5) bereitzustellen. Elektromagnetische Strahlung, die aus dem Plasma (23) an der Oberfläche (5) emittiert wird und die von an der Oberfläche (5) befindlichem Material (3) des Körpers (2) beeinflusst ist, wird spektral auflösend erfasst. Dabei wird das elektrische Feld derart angelegt wird, dass seine Feldlinien (21) längs der Oberfläche (5) auseinanderlaufen. In order to measure a body (2), a working gas (8) is guided to a surface (5) of the body (2) and an electrical field of changing field strength, the field lines (21) of which run towards the surface (5) and which causes a dielectric barrier gas discharge in the working gas (8), is produced in order to provide a plasma (23) on the surface (5). Electromagnetic radiation which is emitted from the plasma (23) on the surface (5) and is influenced by material (3) of the body (2) on the surface (5) is captured in a spectrally resolving manner. In this case, the electrical field is applied in such a manner that the field lines (21) thereof diverge along the surface (5). Afin de mesurer un corps (2), un gaz de travail (8) est guidé jusqu'à une surface (5) du corps (2) et un champ électrique de changement d'intensité de champ, dont les lignes de champ (21) s'étendent vers la surface (5) et qui provoque une décharge de gaz barrière diélectrique dans le gaz de travail (8), est produit pour fournir un plasma (23) sur la surface (5). Un rayonnement électromagnétique qui est émis à partir du plasma (23) sur la surface (5) et est influencé par le matériau (3) du corps (2) sur la surface (5) est capturé de manière spectrale. Dans ce cas, le champ électrique est appliqué d'une manière telle que les lignes de champ (21) de celui-ci divergent le long de la surface (5).