BEAMSPLITTER BASED ELLIPSOMETER FOCUSING SYSTEM

An ellipsometer includes a focusing system that uses an image of the measurement spot to determine a best focal position for the ellipsometer. The focus signal is produced by splitting off the ellipsometer measurement spot before the signal is analyzed by a polarizer thereby avoiding imagining the spot with a modulated intensity. The focus signal is imaged on a sensor array and based on the position of the spot on the sensor array, the focal position of the ellipsometer may be determined. A single image may be used to determine the focal position of the ellipsometer permitting a real time focus position measurement. Ellipsomètre comprenant un système de mise au point qui utilise une image du point de mesure pour déterminer une meilleure position focale pour l'ellipsomètre. Le signal de mise au point est produit par séparation du point de mesure de l'ellipsomètre avant que le signal soit analysé par un polariseur, ce qui permet d'éviter d'imaginer le point avec une intensité modulée. Le signal de mise au point est imagé sur un réseau de capteurs et basé sur la position du point sur le réseau de capteurs; la position focale de l'ellipsomètre peut être déterminée. Une seule image peut être utilisée pour déterminer la position focale de l'ellipsomètre permettant une mesure de position de mise au point en temps réel.