Optical Switch Controllable by Vertical Motion MEMS Structure

MEMS-actuated optical switches can be implemented on photonic chips. These switches are compact, essentially planar, simple to implement and include only one moving MEMS component per switch. The switches exhibit low optical loss, require low power to operate, and are simple to control and easy to integrate with other optical devices. Each switch has two optical waveguides that are optically coupled in an ON switch state and not coupled in an OFF switch state. An end or a medial section of one of the two waveguides may translate between the ON and OFF states to affect the coupling. Alternatively, a coupling frustrator may translate between the ON and OFF states to affect the coupling. L'invention concerne des commutateurs optiques actionnés par MEMS qui peuvent être mis en œuvre sur des puces photoniques. Ces commutateurs sont compacts, essentiellement plans, simples à mettre en œuvre et comprennent seulement un composant MEMS mobile par commutateur. Les commutateurs présentent une faible perte optique, nécessitent une faible puissance pour fonctionner, et sont simples à commander et faciles à intégrer avec d'autres dispositifs optiques. Chaque commutateur comprend deux guides d'ondes optiques qui sont couplés optiquement dans un état de commutation MARCHE et ne sont pas couplés dans un état de commutation ARRÊT. Une extrémité ou une section médiane de l'un des deux guides d'ondes peut effectuer une translation entre les états MARCHE et ARRÊT pour affecter le couplage. En variante, un frustrateur de couplage peut effectuer une translation entre les états MARCHE et ARRÊT pour affecter le couplage.