SAMPLE SURFACE POLARIZATION MODIFICATION IN INTERFEROMETRIC DEFECT INSPECTION

Defects are detected using data acquired from an interference channel and a polarization modification channel in an interferometer. The interference objective splits a polarized illumination beam into a reference illumination that is reflected by a reference surface without modification to the polarization, and a sample beam that is reflected by a sample surface, that may modify the polarization. Light from the sample beam with no change in polarization is combined with the reference illumination and directed to the interference channel, which may measure the reflectivity and/or topography of the sample. Light from the sample beam with modified polarization is directed to the polarization modification channel. The intensity of the light detected at the polarization modification channel may be used, along with the reflectivity and topography data to identify defects or other characteristics of the sample. L'invention concerne la détection de défauts à l'aide de données acquises en provenance d'un canal d'interférence et d'un canal de modification de polarisation dans un interféromètre. L'objectif d'interférence divise un faisceau d'éclairage polarisé en un éclairage de référence réfléchi par une surface de référence sans modification de la polarisation, et un faisceau d'échantillon réfléchi par une surface d'échantillon pouvant modifier la polarisation. La lumière provenant du faisceau d'échantillon sans changement de polarisation est combinée à l'éclairage de référence et dirigée vers le canal d'interférence, ce qui permet de mesurer la réflectivité et/ou la topographie de l'échantillon. La lumière provenant du faisceau d'échantillon à polarisation modifiée est dirigée vers le canal de modification de polarisation. L'intensité de la lumière détectée au niveau du canal de modification de polarisation peut être utilisée, conjointement avec les données de réflectivité et de topographie, pour identifier des défauts ou d'autres caractéristiques de l'échantillon.