HIGH CAPACITY COMPACT LITHIUM THIN FILM BATTERY

A method of forming a thin film battery may include forming may include forming a trench in a substrate, depositing a stencil on top surface of the substrate, wherein the stencil is aligned with the trench, depositing a cathode layer in the trench, wherein the cathode layer is in direct contact with the stencil, and compressing the cathode layer into the trench to reduce a thickness of the cathode layer. The compressing the cathode layer into the trench may include applying isostatic pressure onto the cathode layer using a pressure head. The method may also include depositing an electrolyte layer on top of the cathode layer, depositing an anode layer on top of the electrolyte layer, and depositing an anode collector layer on top of the anode layer. La présente invention concerne un procédé de formation d'une batterie à film mince pouvant comprendre la formation d'une tranchée dans un substrat, le dépôt d'un pochoir sur la surface supérieure du substrat, ledit pochoir étant aligné avec la tranchée, le dépôt d'une couche de cathode dans la tranchée, ladite couche de cathode étant en contact direct avec le pochoir et la compression de la couche de cathode dans la tranchée afin de réduire une épaisseur de la couche de cathode. La compression de la couche de cathode dans la tranchée peut comprendre l'application d'une pression isostatique sur la couche de cathode à l'aide d'une tête de pression. Le procédé peut également inclure le dépôt d'une couche d'électrolyte au-dessus de la couche de cathode, le dépôt d'une couche d'anode au-dessus de la couche d'électrolyte et le dépôt d'une couche de collecteur d'anode au-dessus de la couche d'anode.