THERMALLY ISOLATED REPELLER AND ELECTRODES

An ion source having a thermally isolated repeller is disclosed. The repeller comprises a repeller disk and a plurality of spokes originating at the back surface of the repeller disk and terminating in a post. In certain embodiments, the post may be hollow through at least a portion of its length. The use of spokes rather than a central stem may reduce the thermal conduction from the repeller disk to the post. By incorporating a hollow post, the thermal conduction is further reduced. This configuration may increase the temperature of the repeller disk by more than 100C. In certain embodiments, radiation shields are provided on the back surface of the repeller disk to reduce the amount of radiation emitted from the sides of the repeller disk. This may also help increase the temperature of the repeller. A similar design may be utilized for other electrodes in the ion source. La présente invention concerne une source d'ions ayant deux réflecteurs thermiquement isolés. Le réflecteur comprend un disque de réflecteur et une pluralité de rayons provenant de la surface arrière du disque de réflecteur et se terminant par un montant. Dans certains modes de réalisation, le montant peut être creux sur au moins une partie de sa longueur. L'utilisation de rayons plutôt qu'une tige centrale peut réduire la conduction thermique du disque de réflecteur au montant. Le montant creux peut réduire davantage la conduction thermique. Cette configuration peut augmenter la température du disque de réflecteur de plus de 100 °C. Dans certains modes de réalisation, des écrans anti-rayonnement sont disposés sur la surface arrière du disque de réflecteur pour réduire la quantité de rayonnement émis à partir des côtés du disque de réflecteur. Ces écrans peuvent également contribuer à augmenter la température du réflecteur. Une conception similaire peut être utilisée pour d'autres électrodes dans la source d'ions.