APERTURE FOR ELECTROMAGNETIC RADIATION, METHOD FOR ALIGNING AN APERTURE, SYSTEM FOR APPLYING ELECTROMAGNETIC RADIATION ONTO A SOURCE MATERIAL AND DISPERSING ELEMENT

The present invention relates to an aperture (10) for electromagnetic radiation (100), preferably electromagnetic radiation (100) comprising a wavelength between 1 nm and 20 µm, comprising an aperture body (20) made of a body material (22) transparent for the electromagnetic radiation (100). Further, the present invention relates to a method for aligning an aperture (10), and additionally to a system (70) for applying electromagnetic radiation (100) onto a source material and a dispersing element (90) for such a system (70). La présente invention concerne une ouverture (10) pour un rayonnement électromagnétique (100), de préférence un rayonnement électromagnétique (100) ayant une longueur d'onde comprise entre 1 nm et 20 µm, comprenant un corps d'ouverture (20) constitué d'un matériau de corps (22) laissant passer le rayonnement électromagnétique (100). En outre, la présente invention concerne un procédé d'alignement d'une ouverture (10), ainsi qu'un système (70) d'application d'un rayonnement électromagnétique (100) sur un matériau source et un élément de dispersion (90) pour un tel système (70).