SYSTEM AND METHOD FOR IMPROVED BEAM CURRENT FROM AN ION SOURCE

An IHC ion source that employs a negatively biased cathode and one or more side electrodes is disclosed. The one or more side electrodes are biased using an electrode power supply, which supplies a voltage of between 0 and -50 volts, relative to the chamber. By adjusting the output from the electrode power supply, beam current can be optimized for different species. For example, certain species, such as arsenic, may be optimized when the side electrodes are at the same voltage as the chamber. Other species, such as boron, may be optimized when the side electrodes are at a negative voltage relative to the chamber. In certain embodiments, a controller is in communication with the electrode power supply so as to control the output of the electrode power supply, based on the desired feed gas. L'invention concerne une source d'ions d'IHC, qui emploie une cathode polarisée négativement et une ou plusieurs électrodes latérales. La ou les électrodes latérales sont polarisées à l'aide d'une alimentation électrique d'électrodes, qui fournit une tension comprise entre 0 et 50 volts, par rapport à la chambre. Par réglage de la sortie à partir de l'alimentation électrique des électrodes, on peut optimiser le courant de faisceau pour différentes espèces. Par exemple, certaines espèces, telles que l'arsenic, peuvent être optimisées lorsque les électrodes latérales sont sous la même tension que la chambre. D'autres espèces, telles que le bore, peuvent être optimisées lorsque les électrodes latérales sont à une tension négative par rapport à la chambre. Selon certains modes de réalisation, un régulateur est en communication avec l'alimentation électrique des électrodes, de façon à réguler la sortie de l'alimentation électrique des électrodes, en fonction du gaz d'alimentation souhaité.