LOAD LOCK DEVICE

This load lock device comprises: a load lock chamber that has a first transport port connected to a transfer chamber connected to a decompression processing device and a second transport port connected to a loader chamber; a substrate holder that holds a substrate in the load lock chamber; a drive mechanism that is disposed below the load lock chamber to raise and lower the substrate holder and is connected to the substrate holder via a connection member; an extension chamber that extends laterally from a lower portion of the load lock chamber; and a pump that is located below the extension chamber and discharges gas from the load lock chamber through the extension chamber. The extension chamber has a bottom surface having an opening at a position deviated from vertically below the substrate holder, and the pump is connected to the opening. La présente invention concerne un dispositif de verrou de charge qui comprend : une chambre de verrou de charge qui a un premier port de transport connecté à une chambre de transfert connectée à un dispositif de traitement de décompression et un deuxième port de transport connecté à une chambre de chargeur; un support de substrat qui supporte un substrat dans la chambre de verrou de charge; un mécanisme d'entraînement qui est disposé sous la chambre de verrou de charge pour élever et abaisser le support de substrat et qui est connecté au support de substrat par le biais d'un organe de connexion; une chambre d'extension qui s'étend latéralement depuis une partie inférieure de la chambre de verrou de charge; et une pompe qui est située sous la chambre d'extension et qui décharge du gaz depuis la chambre de verrou de charge à travers la chambre d'extension. La chambre d'extension a une surface inférieure ayant une ouverture à une position déviée par rapport à une position verticalement sous le support de substrat, et la pompe est connectée à l'ouverture. ロードロック装置は、減圧処理装置と接続されるトランスファー室と接続する第１搬送口、および、ローダー室と接続する第２搬送口とを有するロードロック室と、前記ロードロック室の中で基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを昇降させるように前記ロードロック室の下方に配置され、連結部材を介して前記基板ホルダに連結された駆動機構と、前記ロードロック室の下部から側方に延長された延長室と、前記延長室の下方に配置され前記延長室を介して前記ロードロック室のガスを排出するポンプとを備える。前記延長室は、前記基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口を有する底面を有し、前記開口に前記ポンプが接続されている。