LOAD LOCK DEVICE

A load lock device that comprises a load lock chamber that has a first transfer port that connects to a transfer chamber that is connected to a depressurization processing device and a second transfer port that connects to a loader chamber, a substrate holder that holds a substrate inside the load lock chamber, a drive mechanism that is arranged below the load lock chamber and linked to the substrate holder via a linking member so as to be capable of raising the substrate holder, a long chamber that extends laterally from a lower part of the load lock chamber, and a pump that is arranged below the long chamber and discharges gas from the load lock chamber via the long chamber. The long chamber has a bottom surface that has an opening at a location that is offset from vertically below the substrate holder, and the pump is connected to the opening. L'invention concerne un dispositif de verrouillage de charge qui comprend une chambre de verrouillage de charge qui a un premier orifice de transfert qui se raccorde à une chambre de transfert qui est reliée à un dispositif de traitement de dépressurisation et un second orifice de transfert qui se raccorde à une chambre de chargement, un support de substrat qui maintient un substrat à l'intérieur de la chambre de verrouillage de charge, un mécanisme d'entraînement qui est agencé au-dessous de la chambre de verrouillage de charge et qui est relié au support de substrat par l'intermédiaire d'un élément de liaison de manière à pouvoir soulever le support de substrat, une longue chambre qui s'étend latéralement à partir d'une partie inférieure de la chambre de verrouillage de charge, et une pompe qui est disposée au-dessous de la longue chambre et qui évacue le gaz de la chambre de verrouillage de charge par l'intermédiaire de la longue chambre. La longue chambre a une surface inférieure qui a une ouverture à un emplacement qui est décalé par rapport à la verticale au-dessous du support de substrat, et la pompe est reliée à l'ouverture. ロードロック装置は、減圧処理装置と接続されるトランスファー室と接続する第１搬送口、および、ローダー室と接続する第２搬送口とを有するロードロック室と、前記ロードロック室の中で基板を保持する基板ホルダと、前記基板ホルダを昇降させるように前記ロードロック室の下方に配置され、連結部材を介して前記基板ホルダに連結された駆動機構と、前記ロードロック室の下部から側方に延長された延長室と、前記延長室の下方に配置され前記延長室を介して前記ロードロック室のガスを排出するポンプとを備える。前記延長室は、前記基板ホルダの鉛直下方からずれた位置に開口を有する底面を有し、前記開口に前記ポンプが接続されている。