MAGNETIC GUIDE FOR GUIDING A CARRIER, TRANSPORT SYSTEM FOR TRANSPORTING A CARRIER, AND METHOD OF GUIDING A CARRIER

One aspect of the present disclosure provides a magnetic guide for guiding a carrier. The magnetic guide includes a housing having a first portion and a second portion arranged opposite from the first portion, at least one first guiding magnet arranged on a surface of the first portion, and at least one second guiding magnet arranged on a surface of the second portion, wherein the at least one first guiding magnet extends past a first end of the first portion, the first end comprising a magnetic material, and the at least one second guiding magnet extends past a second end of the second portion, the second end comprising a magnetic material. Further aspects of the present disclosure provide a transport system for transporting a carrier having said magnetic guide, a substrate processing system and a method for guiding a carrier with said magnetic guide. Un aspect de la présente invention concerne un guide magnétique permettant de guider un support. Le guide magnétique comprend un boîtier présentant une première partie et une seconde partie agencée à l'opposé de la première partie, au moins un premier aimant de guidage agencé sur une surface de la première partie et au moins un second aimant de guidage agencé sur une surface de la seconde partie, ledit au moins un premier aimant de guidage s'étendant au-delà d'une première extrémité de la première partie, la première extrémité comprenant un matériau magnétique, et l'au moins un second aimant de guidage s'étendant au-delà d'une seconde extrémité de la seconde partie, la seconde extrémité comprenant un matériau magnétique. D'autres aspects de la présente invention concernent un système de transport permettant de transporter un support présentant ledit guide magnétique, un système de traitement de substrat et un procédé de guidage d'un support avec ledit guide magnétique.