FAST HIGH POWER PULSED LIGHT SOURCE SYSTEM FOR HIGH SPEED METROLOGY IMAGING

A high-power fast-pulse driver and illumination system for high speed metrology imaging is provided, which includes an illumination source and a driver circuit configured to overdrive the illumination source using high currents and/or high current densities. The high currents are currents higher than manufacturer-recommended currents, and the high current densities are current densities higher than manufacturer-recommended current densities, used to drive the illumination source. The illumination source is operated using a lifetime preserving technique selected from a first technique of operating the illumination source at low duty cycles of 2% or less or a second technique of operating the illumination source in a burst mode at higher duty cycles for short intervals. The driver and illumination system may be incorporated in a variable focus lens system, to define multiple exposure increments for acquiring one or more images focused at one or more focus planes. L'invention concerne un pilote d'impulsion rapide haute puissance et un système d'éclairage pour une imagerie de métrologie à grande vitesse, qui comprend une source d'éclairage et un circuit de commande configuré pour surexprimer la source d'éclairage à l'aide de courants élevés et/ou de densités de courant élevées. Les courants élevés sont des courants supérieurs aux courants recommandés par le fabricant, et les densités de courant élevées sont des densités de courant supérieures aux densités de courant recommandées par le fabricant, utilisées pour entraîner la source d'éclairage. La source d'éclairage est actionnée à l'aide d'une technique de conservation de durée de vie sélectionnée parmi une première technique de fonctionnement de la source d'éclairage à des cycles de service faibles de 2 % ou moins ou une seconde technique de fonctionnement de la source d'éclairage en mode rafale à des cycles de service plus élevés pour des intervalles courts. Le pilote et le système d'éclairage peuvent être incorporés dans un système de lentilles à focalisation variable, pour définir de multiples incréments d'exposition afin d'acquérir une ou plusieurs images focalisées sur un ou plusieurs plans de focalisation.