PRESSING DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

This pressing device is for pressing two main surfaces of a stacked substrate comprising a first substrate and a second substrate bonded to the first substrate, and comprises: a retention part for retaining the stacked substrate; a movable part disposed to face the retention part; a pressure application mechanism which moves the movable part and causes the movable part to press the stacked substrate against the retention part, wherein the movable part has a pressing surface that presses the entirety of one main surface of the stacked substrate, and the retention part has a retaining surface on which the entirety of the other main surface of the stacked substrate is retained. Dispositif de pressage pour presser deux surfaces principales d'un substrat empilé comprenant un premier substrat et un second substrat lié au premier substrat, et qui comprend : une partie de retenue pour retenir le substrat empilé ; une partie mobile disposée de façon à faire face à la partie de retenue ; un mécanisme d'application de pression qui déplace la partie mobile et amène celle-ci à presser le substrat empilé contre la partie de retenue, la partie mobile comportant une surface de pression qui presse la totalité d'une surface principale du substrat empilé, et la partie de retenue comportant une surface de retenue sur laquelle la totalité de l'autre surface principale du substrat empilé est retenue. 第１基板と前記第１基板に接合された第２基板とを含む重合基板の２つの主面を押圧する押圧装置であって、前記重合基板を保持する保持部と、前記保持部に対して対向配置される可動部と、前記可動部を移動させ、前記可動部で前記重合基板を前記保持部に押す加圧機構と、を有し、前記可動部は、前記重合基板の主面の全体を押す押圧面を含み、前記保持部は、前記重合基板の主面の全体を保持する保持面を含む、押圧装置。