SELF-REFERENCING HEALTH MONITORING SYSTEM FOR MULTI-BEAM SEM TOOLS

Systems and methods for image enhancement are disclosed. A method for enhancing an image may include receiving records ((502), (506) of a performance metric for beams of the multi-beam system in an imaging process, each record associated with a beam. The method may also include determining whether an abnormality of a beam occurs based on a baseline value (504) determined using a portion (502) of the records. The method may further include providing an abnormality indication in response to the determination that the abnormality has occurred. La présente invention concerne des systèmes et des procédés pour l'amélioration d'image. Un procédé pour l'amélioration d'une image peut consister à recevoir des enregistrements (502), (506) d'une mesure de performances pour des faisceaux du système à faisceaux multiples dans un processus d'imagerie, chaque enregistrement étant associé à un faisceau. Le procédé peut également consister à déterminer si une anomalie d'un faisceau se produit sur la base d'une valeur de ligne de base (504) déterminée à l'aide d'une portion (502) des enregistrements. Le procédé peut en outre consister à fournir une indication d'anomalie en réponse à la détermination du fait que l'anomalie s'est produite.