EFFICIENT SCHEDULING OF TASKS FOR RESOLUTION ENHANCEMENT TECHNIQUE OPERATIONS

A system and method for scheduling optical proximity correction (OPC) or other resolution enhancement technique (RET) operations on a layout design is disclosed. A layout design is divided into a plurality of regions, such as a plurality of tiles. OPC is performed on the plurality of tiles in order to generate a modified layout design. Performing OPC on the plurality of tiles may be time consuming. In order to more efficiently distribute the processing of OPC, estimates of OPC processing times for the plurality of tiles is performed. The estimate of the OPC processing time for a respective tile may be based on one or both of analysis of: analysis of the respective tile; or analysis of tile(s) that neighbor the respective tile. Based on the estimates, tiles that have a longer estimated processing tile are scheduled before tiles that have a shorter estimated processing time, thereby potentially resulting in more efficient OPC processing. L'invention concerne un système et un procédé de planification d'opérations de correction de proximité optique (OPC) ou d'autres opérations de technique d'amélioration de résolution (RET) sur une conception de disposition. Une conception de disposition est divisée en une pluralité de régions, telles qu'une pluralité de mosaïques. L'OPC est réalisé sur la pluralité de mosaïques afin de générer une conception de disposition modifiée. La réalisation de l'OPC sur la pluralité de mosaïques peut prendre du temps. Afin de distribuer plus efficacement le traitement de l'OPC, des estimations du temps de traitement OPC de la pluralité de mosaïques sont effectuées. L'estimation du temps de traitement OPC d'une mosaïque respective peut être basée sur : l'analyse de la mosaïque respective ; et/ou l'analyse de la ou des mosaïques qui sont voisines de la mosaïque respective. Sur la base des estimations, des mosaïques qui ont une mosaïque de traitement estimée plus longue sont planifiées avant les mosaïques qui ont un temps de traitement estimé plus court, ce qui permet d'obtenir potentiellement un traitement OPC plus efficace.