METHOD AND APPARATUS TO ENHANCE SHEATH FORMATION, EVOLUTION AND PULSE TO PULSE STABILITY IN RF POWERED PLASMA APPLICATIONS

A radio frequency (RF) generator is configured to generate a RF signal. The RF signal can be modulated by a pulse having one or multiple states. During an initial state at pulse initiation, the RF generator adjusts the impedance match by selecting the frequency of the RF signal. During a second state of the pulse, the RF generator adjusts the impedance match using a matching network. The first state includes controlling the RF generator to output a power burst, and the second state includes controlling the generator to output an operating power. Un générateur radiofréquence (RF) est conçu pour générer un signal RF. Le signal RF peut être modulé par une impulsion présentant un ou plusieurs états. Pendant un état initial au déclenchement d'impulsion, le générateur RF ajuste l'adaptation d'impédance par sélection de la fréquence du signal RF. Pendant un second état de l'impulsion, le générateur RF ajuste l'adaptation d'impédance à l'aide d'un réseau d'adaptation. Le premier état comprend la commande du générateur RF pour délivrer une salve de courant, et le second état comprend la commande du générateur pour délivrer une puissance de fonctionnement.