PATH SWITCH ASSEMBLY, CHAMBER AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING THE SAME, AND METHODS THEREFOR

A path switch assembly (150) for transversally moving a carrier is described. The path switch assembly (150) includes one or more pivotable carrier transfer elements (152) for moving a carrier ( 10) from a first transport path (T1) in a path switch direction (S) to a laterally offset second transpor...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SCHOLZ, Michael, SCHÜHLER, Klaus, HEIMEL, Oliver
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A path switch assembly (150) for transversally moving a carrier is described. The path switch assembly (150) includes one or more pivotable carrier transfer elements (152) for moving a carrier ( 10) from a first transport path (T1) in a path switch direction (S) to a laterally offset second transport path (T2). Further, a chamber including the path switch assembly, a processing system including the chamber, a method of switching a transport path of a carrier, and a method of processing a substrate are described. L'invention concerne un ensemble de changement de trajet (150) destiné à déplacer transversalement un support. L'ensemble de changement de trajet (150) comprend un ou plusieurs éléments de transfert de support pivotants (152) pour déplacer un support (10), dans une direction de changement de trajet (S), d'un premier trajet de transport (T1) à un second trajet de transport (T2) décalé latéralement. L'invention concerne en outre une chambre comprenant l'ensemble de changement de trajet, un système de traitement comprenant la chambre, un procédé de changement du trajet de transport d'un support, et un procédé de traitement d'un substrat.