SUPPORT, VIBRATION ISOLATION SYSTEM, LITHOGRAPHIC APPARATUS, OBJECT MEASUREMENT APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD

The invention provides a support (1) comprising: * - a first end portion (2) and a second end portion (3) wherein the second end portion (3) is on the side opposite to the first end portion (2) in a longitudinal direction of the support, * - a coil spring (4) which is arranged between the first end...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	VAN DER MEULEN, Stan, VERMEULEN, Johannes, STARREVELD, Jeroen, VAN DE WIJDEVEN, Jeroen
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BLASTING CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING HOLOGRAPHY LIGHTING MATERIALS THEREFOR MEANS FOR DAMPING VIBRATION MECHANICAL ENGINEERING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SHOCK-ABSORBERS SPRINGS THERMAL INSULATION IN GENERAL WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	The invention provides a support (1) comprising: * - a first end portion (2) and a second end portion (3) wherein the second end portion (3) is on the side opposite to the first end portion (2) in a longitudinal direction of the support, * - a coil spring (4) which is arranged between the first end portion (2) and the second end portion (3) which coil spring (4) comprises: * - a first spiral member (5) which extends between the first end portion (2) and the second end portion (3) in a circumferential direction of the support (1), and * - a second spiral member (6) which extends between the first end portion (2) and the second end portion (3) in a circumferential direction of the support (1), wherein the first spiral member (5) of the coil spring and the second spiral member (6) of the coil spring (4) are moveable relative to each other, wherein the support (1) further comprises a damper device (20) which is attached to the first spiral member (5). L'invention concerne un support (1), comprenant : * - une première partie d'extrémité (2) et une seconde partie d'extrémité (3), la seconde partie d'extrémité (3) étant disposée du côté opposé à la première partie d'extrémité (2) dans une direction longitudinale du support, * - un ressort hélicoïdal (4) disposé entre la première partie d'extrémité (2) et la seconde partie d'extrémité (3), ledit ressort hélicoïdal (4) comprenant : * - un premier élément en spirale (5) s'étendant entre la première partie d'extrémité (2) et la seconde partie d'extrémité (3) dans une direction circonférentielle du support (1), et * - un second élément en spirale (6) s'étendant entre la première partie d'extrémité (2) et la seconde partie d'extrémité (3) dans une direction circonférentielle du support (1), le premier élément en spirale (5) du ressort hélicoïdal et le second élément en spirale (6) du ressort hélicoïdal (4) étant mobiles l'un par rapport à l'autre, le support (1) comprenant en outre un dispositif amortisseur (20) fixé au premier élément en spirale (5).