SYSTEM AND METHOD FOR DETERMINING DEFECTS USING PHYSICS-BASED IMAGE PERTURBATIONS

A system for characterizing a specimen is disclosed. In one embodiment, the system includes a characterization sub-system configured to acquire one or more images a specimen, and a controller communicatively coupled to the characterization sub-system. The controller may be configured to: receive from the characterization sub-system one or more training images of one or more defects of a training specimen; generate one or more augmented images of the one or more defects of the training specimen; generate a machine learning classifier based on the one or more augmented images of the one or more defects of the training specimen; receive from the characterization sub-system one or more target images of one or more target features of a target specimen; and determine one or more defects of the one or more target features with the machine learning classifier. La présente invention concerne un système permettant de caractériser un échantillon. Selon un mode de réalisation, le système comprend un sous-système de caractérisation configuré pour acquérir une ou plusieurs images d'un échantillon, et un dispositif de commande couplé en communication au sous-système de caractérisation. Le dispositif de commande peut être configuré pour : recevoir du sous-système de caractérisation une ou plusieurs images d'apprentissage d'un ou plusieurs défauts d'un échantillon d'apprentissage; générer une ou plusieurs images augmentées du ou des défauts de l'échantillon d'apprentissage; générer un classificateur d'apprentissage automatique sur la base de la ou des images augmentées du ou des défauts de l'échantillon d'apprentissage; recevoir du sous-système de caractérisation une ou plusieurs images cibles d'une ou plusieurs caractéristiques cibles d'un échantillon cible; et déterminer un ou plusieurs défauts de la ou des caractéristiques cibles avec le classificateur d'apprentissage automatique.