INTEGRATED HARDWARE-SOFTWARE COMPUTER VISION SYSTEM FOR AUTONOMOUS CONTROL AND INSPECTION OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

A substrate processing system comprises an edge computing device including processor that executes instructions stored in a memory to process an image or video captured by camera(s) of at least one of a substrate and a component of the substrate processing system. The component is associated with a...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	BAILEY III, Andrew D, BALDWIN, Scott, SADEGHI, Hossein
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CALCULATING CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COMPUTING COUNTING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HANDLING RECORD CARRIERS INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PHYSICS PRESENTATION OF DATA RECOGNITION OF DATA RECORD CARRIERS SEMICONDUCTOR DEVICES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A substrate processing system comprises an edge computing device including processor that executes instructions stored in a memory to process an image or video captured by camera(s) of at least one of a substrate and a component of the substrate processing system. The component is associated with a robot transporting the substrate between processing chambers of the substrate processing system or between the substrate processing system and a second substrate processing system. The cameras are located along a travel path of the substrate. The instructions configure the processor to transmit first data from the image to a remote server via a network and to receive second data from the remote server via the network in response to transmitting the first data to the remote server. The instructions configure the processor to operate the substrate processing system according to the second data in an automated or autonomous manner. Selon l'invention, un système de traitement de substrats comprend un dispositif informatique périphérique comprenant un processeur destiné à exécuter des instructions stockées dans une mémoire pour traiter une image ou une vidéo, capturée par au moins une caméra, d'au moins un substrat ou un composant du système de traitement de substrats. Le composant est associé à un robot transportant le substrat entre des chambres de traitement du système de traitement, ou entre le système de traitement de substrats et un deuxième système de traitement de substrats. Les caméras sont situées le long d'un trajet de déplacement du substrat. Les instructions configurent le processeur pour transmettre des premières données de l'image à un serveur à distance, par l'intermédiaire d'un réseau, et pour recevoir des deuxièmes données provenant du serveur à distance, par l'intermédiaire du réseau, en réponse à la transmission des premières données au serveur à distance. Les instructions configurent le processeur pour faire fonctionner le système de traitement de substrats en fonction des deuxièmes données, d'une façon automatisée ou autonome.