AXIALLY PROGRESSIVE LENS FOR TRANSPORTING CHARGED PARTICLES

An electrostatic lens for transporting charged particles in an axial direction includes a first group of first electrodes configured to receive a first DC potential from a DC voltage source, and a second group of second electrodes configured to receive a second DC potential from the DC voltage source different from the first DC potential. The first electrodes are interdigitated with the second electrodes. The first group and/or the second group has a geometric feature that progressively varies along the axial direction. The lens generates an axial potential profile that progressively changes along the axial direction, and thereby reduces geometrical aberrations. The lens may be part of a charged particle processing apparatus such as, for example, a mass spectrometer or an electron microscope. L'invention porte sur une lentille électrostatique destinée à transporter des particules chargées dans une direction axiale, qui comprend un premier groupe de premières électrodes configuré pour recevoir un premier potentiel continu d'une source de tension continue, et un second groupe de secondes électrodes configuré pour recevoir un second potentiel continu de la source de tension continue, différent du premier potentiel continu. Les premières électrodes sont interdigitées avec les secondes électrodes. Le premier groupe et/ou le second groupe ont une caractéristique géométrique qui varie progressivement le long de la direction axiale. La lentille génère un profil axial de potentiel qui varie progressivement le long de la direction axiale, et réduit ainsi les aberrations géométriques. La lentille peut faire partie d'un appareil de traitement de particules chargées tel que, par exemple, un spectromètre de masse ou un microscope électronique.