METAMATERIALS-BASED FOCUSING LENSES FOR THERMAL IMAGING

A complementary metal oxide semiconductor (CMOS) device embedded with microelectromechanical system (MEMS) components in a MEMS region. The MEMS components, for example, are infrared (IR) thermosensors. The device is encapsulated with a CMOS compatible IR transparent cap to hermetically seal the device using wafer-level vacuum packaging techniques. The cap includes an integrated focusing system with a metalens module for focusing IR radiation onto the sensors. L'invention concerne un dispositif semi-conducteur à oxyde métallique complémentaire (CMOS) intégré dans des composants de système microélectromécanique (MEMS) dans une région MEMS. Les composants MEMS, par exemple, sont des thermocapteurs infrarouges (IR). Le dispositif est encapsulé avec un capuchon transparent IR compatible avec CMOS pour sceller hermétiquement le dispositif à l'aide de techniques d'encapsulation sous vide au niveau de la plaquette. Le capuchon comprend un système de focalisation intégré avec un module de métalentille pour focaliser un rayonnement IR sur les capteurs.