SAMPLE HOLDER AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Provided is a sample holder (HL) capable of efficiently applying pressure to the observation surface of a sample (SAM). The sample holder (HL) has a fixed electrode (4b), a movable electrode (5) and a pressure-applying member (6) which is attached to the movable electrode (5) and has the function of moving the movable electrode (5) in the horizontal direction. When the sample (SAM) is held between the lateral surface of the fixed electrode (4b) and the lateral surface of the movable electrode (5), the upper surface of the sample (SAM) is positioned within the range of the width of the pressure-applying member (6) in the Z-direction in the area at which the pressure-applying member (6) contacts the movable electrode (5). L'invention concerne un porte-échantillon (HL) pouvant appliquer efficacement une pression sur la surface d'observation d'un échantillon (SAM). Le porte-échantillon (HL) comporte une électrode fixe (4b), une électrode mobile (5) et un élément d'application de pression (6) qui est fixé à l'électrode mobile (5) et a la fonction de déplacer l'électrode mobile (5) dans la direction horizontale. Lorsque l'échantillon (SAM) est maintenu entre la surface latérale de l'électrode fixe (4b) et la surface latérale de l'électrode mobile (5), la surface supérieure de l'échantillon (SAM) est positionnée dans la plage de la largeur de l'élément d'application de pression (6) dans la direction Z dans la zone où l'élément d'application de pression (6) entre en contact avec l'électrode mobile (5). 試料（ＳＡＭ）の観察面に対して圧力を効率的に印加可能な試料保持器（ＨＬ）を提供する。試料保持器（ＨＬ）は、固定電極（４ｂ）と、可動電極（５）と、可動電極（５）に取り付けられ、且つ、可動電極（５）を水平方向へ移動させる機能を有する圧力印加部材（６）とを有する。固定電極（４ｂ）の側面と可動電極（５）の側面との間に試料（ＳＡＭ）を保持する場合、Ｚ方向において、試料（ＳＡＭ）の上面を、圧力印加部材（６）が可動電極（５）に接する箇所における圧力印加部材（６）の幅の範囲内に位置させる。