NON-DESTRUCTIVE INSPECTION AND MANUFACTURING METROLOGY SYSTEMS AND METHODS

Measuring or inspecting samples through non-destructive systems and methods. Multiple light pulses emitted from a light source. The light pulses are split into pump pulses and probe pulses. A first probe pulse reaches the surface of a sample after a first time duration after a first pump pulse reaches the surface. A second pump pulse reaches the surface after a time duration after the first probe pulse. When the second pump pulse reflects off the sample, the second pump pulse may be altered by an acoustic wave generated by the first probe pulse. The reflected second pump pulse may be analyzed to determine a characteristic of the sample. L'invention concerne la mesure et le contrôle d'échantillons par des systèmes et des procédés non destructifs. De multiples impulsions de lumière sont émises d'une source de lumière. Les impulsions de lumière sont divisées en impulsions de pompage et en impulsions de sonde. Une première impulsion de sonde atteint la surface d'un échantillon au bout d'une première durée après qu'une première impulsion de pompage a atteint la surface. Une seconde impulsion de pompage atteint la surface au bout d'une durée après la première impulsion de sonde. Lorsque la seconde impulsion de pompage se réfléchit dans l'échantillon, elle peut être modifiée par une onde acoustique générée par la première impulsion de sonde. La seconde impulsion de pompage réfléchie peut être analysée pour déterminer une caractéristique de l'échantillon.