ETCHING DEVICE

The present invention relates to an etching device comprising: an etching chamber; an opening/closing unit for opening/closing the etching chamber; and a locking unit for selectively locking the opening/closing unit. La présente invention concerne un dispositif de gravure comprenant : une chambre de...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MO, Sung Won, PARK, Seong Hwan, LEE, Joo Hyoung, KI, Beom Su, LEE, Seung Hoon, CHO, Hyun Dong
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; kor
Schlagworte:	ADHESIVES BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMISTRY DYES ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FORELSEWHERE METALLURGY MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS MISCELLANEOUS COMPOSITIONS NATURAL RESINS PAINTS POLISHES SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	The present invention relates to an etching device comprising: an etching chamber; an opening/closing unit for opening/closing the etching chamber; and a locking unit for selectively locking the opening/closing unit. La présente invention concerne un dispositif de gravure comprenant : une chambre de gravure ; une unité d'ouverture/fermeture pour ouvrir/fermer la chambre de gravure ; et une unité de verrouillage pour verrouiller sélectivement l'unité d'ouverture/fermeture. 본 발명은 식각장치에 관한 것으로, 식각챔버와, 식각챔버를 개폐하는 개폐유닛 및, 개폐유닛을 선택적으로 구속하는 록킹유닛을 포함한다.