CHANNEL FORMING DEVICE

The purpose of the present invention is to provide a channel forming device that, for example, allows a flow control system to be made significantly compact. Provided is a channel forming device (100) with a mounting panel (P1) having a mounting surface that is a surface on which a plurality of piec...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: YASUDA, Tadahiro, WHITE, William Wylie, PRICE, Andrew
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; jpn
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Beschreibung
Zusammenfassung:The purpose of the present invention is to provide a channel forming device that, for example, allows a flow control system to be made significantly compact. Provided is a channel forming device (100) with a mounting panel (P1) having a mounting surface that is a surface on which a plurality of pieces of fluid equipment including at least a mass flow controller (M) are mounted, wherein the mounting panel (P1) includes: a plurality of branch channels (L) having a plurality of connection channels (L1) connected to an inlet port or an outlet port of the fluid equipment and a circulation channel (L2) which communicates with the connection channels (L1) and circulates fluids through the fluid equipment; and a merged channel (C) which communicates with the connection channels (L1) of different branch channels (L) and in which fluids flowing through the branch channels (L) are merged. The plurality of branch channels (L) and the merged channel (C) are cavities formed in the mounting panel (P1). The circulation channel (L2) and the merged channel (C) are grade-separated in the mounting panel (P2). Le but de la présente invention est de fournir un dispositif de formation de canal qui, par exemple, permet à un système de régulation de débit d'être rendu sensiblement compact. L'invention concerne un dispositif de formation de canal (100) pourvu d'un panneau de montage (P1) ayant une surface de montage qui est une surface sur laquelle une pluralité d'éléments d'équipement de fluide comprenant au moins un dispositif de commande de débit massique (M) sont montés, le panneau de montage (P1) comprenant : une pluralité de canaux de ramification (L) ayant une pluralité de canaux de raccordement (L1) raccordés à un orifice d'entrée ou à un orifice de sortie de l'équipement de fluide et un canal de circulation (L2) qui communique avec les canaux de raccordement (L1) et fait circuler des fluides à travers l'équipement de fluide ; et un canal fusionné (C) qui communique avec les canaux de raccordement (L1) de différents canaux de ramification (L) et dans lequel des fluides s'écoulant à travers les canaux de ramification (L) sont fusionnés. La pluralité de canaux de ramification (L) et le canal fusionné (C) sont des cavités ménagées dans le panneau de montage (P1). Le canal de circulation (L2) et le canal fusionné (C) sont séparés par catégorie dans le panneau de montage (P2). 例えば流量制御システムを大幅にコンパクト化することを可能とする流路形成装置を提供するために、少なくともマスフローコントローラ(M)を含む複数の流体機器が取り付けられる表面である搭載面を具備する搭載パネル(P