CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE

Provided is a technique by which prevention of image degradation of photographic images pertaining to a charged particle beam device can be achieved. The charged particle beam device is provided with: an imaging device which, by emitting a charged particle beam to a sample, converts information about the sample into an image; and a computer. The computer stores images (scanned images) obtained by scanning the same area for multiple times, sorts the images into images including degraded images and images not including degraded images, and stores a target image obtained by means of image integration from the images not including degraded images. The charged particle beam device is provided with a database for storing data on the information obtained from the imaging device including the scanned images, the sorting result, the target image, and so forth. The charged particle beam device obtains a target image for which random noise is suppressed and image degradation is prevented and which has a high S/N ratio and sharpness by means of image integration of the images not including degraded images which are selected from the scanned images. L'invention concerne une technique par laquelle la prévention de la dégradation d'image d'images photographiques se rapportant à un dispositif à faisceau de particules chargées peut être obtenue. Le dispositif à faisceau de particules chargées comporte : un dispositif d'imagerie qui, en émettant un faisceau de particules chargées vers un échantillon, convertit des informations concernant l'échantillon en une image; et un ordinateur. L'ordinateur stocke des images (images numérisées) obtenues par numérisation de la même zone à plusieurs reprises, trie les images en images comprenant des images dégradées et des images ne comprenant pas d'images dégradées, et stocke une image cible obtenue au moyen d'une intégration d'image à partir des images ne comprenant pas d'images dégradées. Le dispositif à faisceau de particules chargées est pourvu d'une base de données pour stocker des données sur les informations obtenues à partir du dispositif d'imagerie comprenant les images numérisées, le résultat de tri, l'image cible, etc. Le dispositif à faisceau de particules chargées obtient une image cible pour laquelle un bruit aléatoire est supprimé et une dégradation d'image est empêchée et qui a un rapport signal/bruit élevé et une netteté élevée au moyen d'une intégration d'image des images ne comprenant pas d'images dégradées qui sont s