STOCHASTIC RETICLE DEFECT DISPOSITIONING

A system for stochastic reticle defect dispositioning is disclosed. The system includes a controller including one or more processors and memory. The one or more processors configured to acquire product metrology data of a product reticle. The one or more processors configured to perform one or more stochastic simulations based on the product metrology data to generate one or more simulated product samples including the pattern of elements. The one or more processors configured to generate a product model of the product reticle modeling the printing process of the pattern of elements by the product reticle. The one or more processors configured to identify at least one of a care area of the product reticle which is susceptible to printing stochastic defects on product samples, or a care area on the one or more simulated product samples which is susceptible to printed stochastic defects based on the product model. La présente invention a pour objet un système destiné à la disposition stochastique de défauts de réticule. Le système comprend un dispositif de commande comprenant un ou plusieurs processeurs et une mémoire. Le ou les processeurs sont conçus pour acquérir des données de métrologie de produit d'un réticule de produit. Le ou les processeurs sont conçus pour effectuer une ou plusieurs simulations stochastiques sur la base des données de métrologie de produit de façon à générer un ou plusieurs échantillons de produit simulé comprenant le motif d'éléments. Le ou les processeurs sont conçus pour générer un modèle de produit du réticule de produit modélisant le processus d'impression du motif d'éléments par le réticule de produit. Le ou les processeurs sont conçus pour identifier au moins une zone parmi une zone de soins du réticule de produit qui est susceptible d'imprimer des défauts stochastiques sur des échantillons de produit et une zone de soins sur le ou les échantillons de produit simulé qui est sensible à des défauts stochastiques imprimés sur la base du modèle de produit.