ULTRASONIC SENSOR
The present invention addresses the problem of providing an ultrasonic sensor with high scanning precision and excellent scanning efficiency. An ultrasonic sensor according to one aspect of the present invention comprises: a vibration detection element 2 which has a plurality of vibration detection...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
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Zusammenfassung: | The present invention addresses the problem of providing an ultrasonic sensor with high scanning precision and excellent scanning efficiency. An ultrasonic sensor according to one aspect of the present invention comprises: a vibration detection element 2 which has a plurality of vibration detection sections 2a; and a covering layer 3 which is laminated on the vibration detection element 2, wherein the covering layer 3 has a plurality of ultrasonic wave transmissive sections 3a which overlap the plurality of vibration detection sections 2a in a plan view.
La présente invention aborde le problème consistant à fournir un capteur ultrasonore avec une haute précision de balayage et une excellente efficacité de balayage. Un capteur ultrasonore selon un aspect de la présente invention comprend : un élément de détection de vibration (2) qui comporte une pluralité de parties de détection de vibration (2a) ; et une couche de recouvrement (3) qui est appliquée par stratification sur l'élément de détection de vibration (2), la couche de recouvrement (3) ayant une pluralité de parties de transmission d'onde ultrasonore (3a) qui chevauchent la pluralité de parties de détection de vibration (2a) dans une vue en plan.
本発明は、検査精度が高く、かつ検査効率に優れる超音波センサを提供することを課題とする。本発明の一態様に係る超音波センサは、複数の振動検出部2aを有する振動検出素子2と、振動検出素子2に積層される被覆層3とを備え、被覆層3が、平面視で複数の振動検出部2aと重なり合う複数の超音波透過部3aを有する。 |
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