INTEGRATED TOOL LIFT

Semiconductor processing tools are provided that include an upper support framework, a plurality of semiconductor processing chambers arranged along a first axis, a linear guide system fixedly supported by the upper support framework and extending along a second axis substantially parallel to the first axis, and a carriage. Each chamber has a base portion fixedly mounted relative to the upper support framework and a removable top cover with one or more hoisting features. The carriage includes a hoist arm configured to pivot about a vertical axis that is substantially perpendicular to the second axis, the carriage is configured to movably engage with the linear guide system and translate along the second axis relative to the linear guide system. The carriage and hoist arm are movable such that a hoist feature engagement interface of the hoist arm can be moved engage with hoisting features of any of the removable top covers. L'invention concerne des outils de traitement de semi-conducteurs qui comprennent une structure de support supérieure, une pluralité de chambres de traitement de semi-conducteurs agencées le long d'un premier axe, un système de guidage linéaire supporté de manière fixe par la structure de support supérieure et s'étendant le long d'un second axe sensiblement parallèle au premier axe, ainsi qu'un chariot. Chaque chambre présente une partie de base montée de manière fixe par rapport à la structure de support supérieure et un couvercle supérieur amovible avec un ou plusieurs éléments de treuillage. Le chariot comprend une potence de treuil conçue pour pivoter autour d'un axe vertical qui est sensiblement perpendiculaire au second axe, le chariot est conçu pour venir en prise de façon mobile avec le système de guidage linéaire et se déplacer le long du second axe par rapport au système de guidage linéaire. Le chariot et la potence de treuil sont mobiles, de sorte qu'une interface de mise en prise d'éléments de treuil de la potence de treuil puisse être déplacée en prise avec des éléments de treuil de l'un quelconque des couvercles supérieurs amovibles.