TRANSPARENT WAFER CENTER FINDER

A method and apparatus for locating the center of a substrate are provided. The substrate-positioning system uses an array of visible light sources to illuminate the substrate and its edges. The light sources are non-laser in nature and typically emit in the visible spectrum. The light sources are typically LEDs so that the individual elements may be switched-on or switched-off extremely rapidly, which allows for multiple images to be taken using different light sources at any given substrate rotation position. The substrate-positioning system further includes an image sensor array with the ability to process data rapidly, which allows for the digitization (quantization) of each pixel being viewed. Algorithms analyze the values for patterns and determine the true edge position at each rotational angle of the substrate. The systems and methods described herein are able to locate the center of various types of substrates composed of different materials and/or edge types. L'invention concerne un procédé et un appareil pour localiser le centre d'un substrat. Le système de positionnement de substrat utilise un réseau de sources de lumière visible pour éclairer le substrat et ses bords. Les sources de lumière sont de nature non laser et émettent typiquement dans le spectre visible. Les sources de lumière sont typiquement des DEL de telle sorte que les éléments individuels peuvent être allumés ou éteints extrêmement rapidement, ce qui permet à de multiples images d'être capturées à l'aide de différentes sources de lumière à une quelconque position de rotation de substrat donnée. Le système de positionnement de substrat comprend en outre un réseau de capteurs d'image ayant la capacité de traiter rapidement des données, qui permet la numérisation (quantification) de chaque pixel en cours de visualisation. Des algorithmes analysent les valeurs à la recherche de motifs et déterminent la position de bord vraie à chaque angle de rotation du substrat. Les systèmes et les procédés de l'invention sont aptes à localiser le centre de divers types de substrats composés de différents matériaux et/ou types de bord.