MICROSCOPE AND OBSERVATION METHOD
This microscope is provided with: an illumination optical system which has a light flux splitting unit that splits light from a light source into a plurality of light fluxes, and which scans, in a plurality of directions of a sample, interference fringes generated by interference between at least th...
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Hauptverfasser: | , |
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; jpn |
Schlagworte: | |
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Zusammenfassung: | This microscope is provided with: an illumination optical system which has a light flux splitting unit that splits light from a light source into a plurality of light fluxes, and which scans, in a plurality of directions of a sample, interference fringes generated by interference between at least three light fluxes among the plurality of light fluxes split by the light flux splitting unit; a detection optical system on which light from the sample is incident; a detection device including a plurality of detection units that detects light from the sample via the detection optical system; and an image processing unit that generates an image using the detection results from the two or more detecting units of the detection device.
L'invention concerne un microscope comprenant : un système optique d'éclairage qui a une unité de division de flux lumineux qui divise la lumière provenant d'une source de lumière en une pluralité de flux lumineux, et qui balaie, dans une pluralité de directions d'un échantillon, des franges d'interférence générées par une interférence entre au moins trois flux lumineux parmi la pluralité de flux lumineux divisés par l'unité de division de flux lumineux ; un système optique de détection sur lequel la lumière provenant de l'échantillon est incidente ; un dispositif de détection comprenant une pluralité d'unités de détection qui détecte la lumière provenant de l'échantillon par l'intermédiaire du système optique de détection ; et une unité de traitement d'image qui génère une image à l'aide des résultats de détection provenant des deux unités de détection ou plus du dispositif de détection.
顕微鏡は、光源からの光を複数の光束に分割する光束分割部を有し、光束分割部により分割された複数の光束の少なくとも3つ以上の光束の干渉によって形成される干渉縞を、試料の複数の方向において走査する照明光学系と、試料からの光が入射する検出光学系と、検出光学系を介して試料からの光を検出する複数の検出部を含む検出装置と、検出装置の2以上の検出部の検出結果を用いて画像を生成する画像処理部と、を備える。 |
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