METHOD AND DEVICE FOR SEPARATING A GAS MIXTURE CONTAINING DIBORANE AND HYDROGEN

Zum Abtrennen von Diboran aus einem Diboran und Wasserstoff enthaltenden Gasgemisch erfolgt üblicherweise eine Kühlung des Gasgemisches in einem Vorlagebehälter mit flüssigem Stickstoff, wobei das Diboran ausfriert. Um eine weitgehend kontinuierliche Abtrennung des Diborans aus dem Gasgemisch zu ermöglichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Gasgemisch in einem Wärmetauscher mit einem verflüssigtes Gas in Wärmekontakt gebracht wird, das auf einem Druck derart gehalten wird, dass das Diboran durch den Wärmekontakt mit dem Kühlmittel verflüssigt wird, und das verflüssigte Diboran anschließend aus dem ersten Wärmetauscher abgeführt und einem Vorlagebehälter zugeführt wird. In einem nachgeschalteten zweiten Wärmetauscher kann das im Gasgemisch verbliebene Diboran anschließend zum Ausfrieren gebracht werden. In order to separate diborane from a gas mixture containing diborane and hydrogen, the gas mixture is normally cooled in a storage tank using liquid nitrogen, wherein the diborane freezes out. In order to enable an extensively continuous separation of the diborane from the gas mixture, according to the invention, the gas mixture is brought into thermal contact with a liquefied gas in a heat exchanger, which liquefied gas is held at a pressure such that the diborane is liquefied by the thermal contact with the coolant, and the liquefied diborane is then discharged from the first heat exchanger and supplied to a storage tank. In a downstream, second heat exchanger, the diborane remaining in the gas mixture can then be caused to freeze out. Pour séparer le diborane contenu dans un mélange gazeux renfermant du diborane et de l'hydrogène, un refroidissement du mélange gazeux est habituellement réalisé dans un contenant de stockage au moyen d'azote liquide, ce qui entraîne la séparation du diborane par congélation. L'objectif de cette invention est de pouvoir réaliser une séparation, qui soit continue dans une large mesure, du diborane contenu dans le mélange gazeux. À cet effet, dans un échangeur de chaleur, le mélange gazeux est mis en contact thermique avec un gaz liquéfié dont la pression est maintenue de manière que le diborane soit liquéfié par contact thermique avec l'agent réfrigérant, le diborane liquéfié étant ensuite évacué du premier échangeur de chaleur et introduit dans un contenant de stockage. Dans un deuxième échangeur de chaleur monté en aval, le diborane resté dans le mélange gazeux peut ensuite subir un processus de séparation par c