APPARATUS FOR AND METHOD OF CONTROLLING DROPLET GENERATOR PERFORMANCE

Apparatus for and method of controlling formation of droplets used to generate EUV radiation. The droplet source includes a fluid exiting an nozzle and a sub-system having an electro-actuatable element producing a disturbance in the fluid. The droplet source produces a stream that breaks down into droplets that in turn coalesce into larger droplets as they progress towards the irradiation region. The electro-actuatable element is driven by a control signal having a sine wave component and a square wave component. Various parameters such as a phase difference between the sine wave component and the square wave component are measured and controlled to minimize the formation of noncoalesced satellite droplets in the stream. L'invention concerne un appareil et un procédé de commande de la formation de gouttelettes utilisé pour générer un rayonnement EUV. La source de gouttelettes comprend un fluide sortant d'une buse et un sous-système comportant un élément électroactionnable qui produit une perturbation dans le fluide. La source de gouttelettes produit un flux qui se décompose en gouttelettes qui, à leur tour, coalescent en gouttelettes plus grosses lorsqu'elles progressent en direction de la région d'exposition à un rayonnement. L'élément électroactionnable est commandé par un signal de commande ayant une composante d'onde sinusoïdale et une composante d'onde carrée. Divers paramètres tels qu'une différence de phase entre le composant d'onde sinusoïdale et le composant d'onde carrée sont mesurés et commandés pour minimiser la formation de gouttelettes satellites non coalescées dans le flux.