STAGE SYSTEM AND LITHOGRAPHIC APPARATUS

The invention provides a stage system comprising a stage (ST) which is movable in respect of a reference structure. One of the stage and the reference structure comprises a reflective surface (REFS). An optical position sensor (I F1) is arranged at the other one of the stage and the reference structure and is configured to determine a position of the reflective surface relative to the optical position sensor. An optical shape sensor (IF2) is configured to determine a shape of the reflective surface. The stage system further comprises a position measurement controller configured to derive a stage position of the stage from the position of the reflective surface relative to the optical position sensor and from the shape of the reflective surface as determined by the optical shape sensor. L'invention concerne un système de platine comprenant une platine (ST) qui est mobile par rapport à une structure de référence. L'une ou l'autre de la platine ou de la structure de référence comprend une surface réfléchissante (REFS). Un capteur de position optique (I F1) est disposé au niveau de l'autre élément entre la platine et la structure de référence et il est conçu pour déterminer une position de la surface réfléchissante par rapport au capteur de position optique. Un capteur de forme optique (IF2) est conçu pour déterminer une forme de la surface réfléchissante. Le système de platine comprend en outre un dispositif de commande de mesure de position conçu pour dériver une position de platine de la platine à partir de la position de la surface réfléchissante par rapport au capteur de position optique et à partir de la forme de la surface réfléchissante telle que déterminée par le capteur de forme optique.