ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE

The electrostatic chuck device according to the present invention is such that: a cross-sectional shape of a substrate in the thickness direction forms a convex curved surface or a concave curved surface that gradually curves from the center of one principal surface toward the outer circumference thereof; an annular protrusion is provided that goes round a periphery portion on the one principal surface of the substrate; a plurality of convex protrusions are provided in an area surrounded by the annular protrusion; the difference between the height of the top surface of the convex protrusion positioned at the center of the one principal surface and the height of the upper surface of the annular protrusion is 1 to 30 μm; the convex protrusion has a top surface making contact with a plate-shaped sample, a side surface, and a round chamfered surface connecting the top surface and the side surface, wherein the ratio of the diameter of the top surface to the diameter of the bottom surface is greater than or equal to 0.75; and the convex protrusion has an angle of 90° to 160°, inclusive, between the top surface and the side surface. La présente invention concerne un dispositif de mandrin électrostatique tel que : la forme de la section transversale d'un substrat dans la direction de l'épaisseur forme une surface incurvée convexe ou une surface incurvée concave qui s'incurve progressivement du centre d'une surface principale vers la circonférence externe de celle-ci ; une saillie annulaire entoure une partie périphérique sur ladite surface principale du substrat ; une pluralité de saillies convexes sont disposées dans une zone entourée par la saillie annulaire ; la différence entre la hauteur de la surface supérieure de la saillie convexe positionnée au centre de ladite surface principale et la hauteur de la surface supérieure de la saillie annulaire est comprise entre 1 et 30 µm ; la saillie convexe comporte une surface supérieure en contact avec un échantillon en forme de plaque, une surface latérale, et une surface chanfreinée ronde reliant la surface supérieure et la surface latérale, le rapport du diamètre de la surface supérieure au diamètre de la surface inférieure étant supérieur ou égal à 0,75 ; et la saillie convexe présente un angle de 90° à 160°, bornes incluses, entre la surface supérieure et la surface latérale. 本発明の静電チャック装置は、基体の厚さ方向の断面形状が一主面の中心から外周に向かい次第に湾曲する凸状曲面または凹状曲面をなし、基体の一主面上の周縁部を一周する環状突起部が設けられ、環状突起部に囲まれた領域に複数の凸状突起部が設けられ、一主面の中心に位置する凸状突起部の頂面の高さと