VACUUM VALVE

The present invention provides a vacuum valve which is configured such that gas supplied from an external source is injected near a sealing ring formed in a sealing member, whereby even when, in a state where a fluid discharge part is opened for an air cleaning operation, the sealing ring is exposed to a portion through which a fluid is moving, the sealing ring is prevented from being damaged by process byproducts such as particles, and thus the reliability of sealing of the vacuum valve can be ensured. La présente invention concerne une soupape de dépression qui est conçue de telle sorte que le gaz fourni par une source externe est injecté à proximité d'un joint d'étanchéité formé dans un élément d'étanchéité, ce par quoi, même lorsque, dans un état dans lequel une partie d'évacuation de fluide est ouverte pour une opération de dépoussiérage, le joint d'étanchéité est exposé à une partie à travers laquelle un fluide se déplace, le joint d'étanchéité est protégé contre tout endommagement causé par des sous-produits de traitement tels que des particules, et ainsi la fiabilité d'étanchéité de la soupape de dépression peut être assurée. 본 발명은 외부로부터 공급되는 기체를 밀폐부재에 형성되는 밀폐링 부근에 분사되도록 구성함으로써, 공기 세정작업을 위해 유체배출부가 개방된 상태가 되어 밀폐링이 유체이동부에 노출되어 있어도 파티클 등의 공정부산물에 의해 밀폐링이 손상되는 것을 방지하여 진공밸브의 밀폐에 대한 신뢰성을 확보할 수 있다는 장점이 있다.