SUPPORT OF AN OPTICAL ELEMENT

The present invention relates to an optical arrangement of a imaging device for microlithography, particularly for using light in the extreme UV (EUV) range, comprising an optical element (109) and a holding device (110) for holding the optical element (109). The optical element (109) comprises an optical surface (109.1) and defines a plane of main extension, in which the optical element (109) defines a radial direction and a circumferential direction. The holding device (110) comprises a base element (110.1) and more than three separate holding units (110.2), wherein the holding units (110.2) are connected to the base element (110.1) and arranged in a manner distributed along the circumferential direction and spaced apart from one another. The holding units (110.2) hold the optical element (109) with respect to the base element (110.1), Here, each of the holding units (110.2) establishes a clamping connection between the optical element (109) and the base element (110.1), said clamping connection being separate from the clamping connections of the other holding units (110.2). La présente invention concerne un agencement optique d'un dispositif d'imagerie pour la microlithographie, en particulier pour utiliser une lumière dans la plage de l'ultraviolet, UV, extrême (EUV), comprenant un élément optique (109) et un dispositif de tenue (110) pour tenir l'élément optique (109). L'élément optique (109) comprend une surface optique (109.1) et définit un plan d'extension principale, dans lequel l'élément optique (109) définit une direction radiale et une direction circonférentielle. Le dispositif de tenue (110) comprend un élément de base (110.1) et plus de trois unités de tenue séparées (110.2), les unités de tenue (110.2) étant reliées à l'élément de base (110.1) et agencées d'une manière répartie le long de la direction circonférentielle et espacées les unes des autres. Les unités de tenue (110.2) tiennent l'élément optique (109) par rapport à l'élément de base (110.1). Ici, chacune des unités de tenue (110.2) établit une liaison de serrage entre l'élément optique (109) et l'élément de base (110.1), ladite liaison de serrage étant distincte des liaisons de serrage des autres unités de tenue (110.2).