SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTION USING TENSOR DECOMPOSITION AND SINGULAR VALUE DECOMPOSITION

A sample characterization system is disclosed. In embodiments, the sample characterization system includes a controller communicatively coupled to an inspection sub-system, the controller including one or more processors configured to execute a set of program instructions stored in memory, the set of program instructions configured to cause the one or more processors to: acquire one or more target image frames of a sample; generate a target tensor with the one or more acquired target image frames; perform a first set of one or more decomposition processes on the target tensor to form generate one or more reference tensors including one or more reference image frames; identify one or more differences between the one or more target image frames and the one or more reference image frames; and determine one or more characteristics of the sample based on the one or more identified differences. L'invention concerne un système de caractérisation d'échantillon. Dans des modes de réalisation, le système de caractérisation d'échantillon comprend un contrôleur couplé en communication à un sous-système d'inspection, le dispositif de commande comprenant un ou plusieurs processeurs configurés pour exécuter un ensemble d'instructions de programme stockées en mémoire, l'ensemble d'instructions de programme étant configuré pour amener lesdits processeurs : à acquérir une ou plusieurs trames d'image cibles d'un échantillon ; à générer un tenseur cible à l'aide desdites trames d'image cible acquises ; à effectuer un premier ensemble d'un ou plusieurs processus de décomposition sur le tenseur cible pour former/générer un ou plusieurs tenseurs de référence comprenant une ou plusieurs trames d'image de référence ; à identifier une ou plusieurs différences entre lesdites trames d'image cible et lesdites trames d'image de référence ; et à déterminer une ou plusieurs caractéristiques de l'échantillon sur la base desdites différences identifiées.